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德國PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器PI XY位移平臺

特點：

·         緊湊：44毫米x44毫米表面

- 行程范圍為120 µm x 120 µm。

- 分辨率達0.2納米

- 極為廉價的系統(tǒng)(機械和控制系統(tǒng))

- 無間隙、高精度偏轉導向系統(tǒng)

- PICMA®壓電執(zhí)行器，壽命長。

- 也可提供直線型、Z型鋼和XYZ型。

應用領域

- 干涉儀(物理學)

- 顯微鏡

- 納米定位

- 生物技術

- 測試程序和質(zhì)量保證

- 光子學

- 光學定位

- 半導體技術

導向精度高的無背隙撓曲導向器

柔性導軌是免維護、免摩擦、免磨損的，不需要潤滑。其剛度使其具有較高的負載能力，對沖擊和振動不敏感。它們100%與真空兼容，可在較寬的溫度范圍內(nèi)運行。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

獲得專利的壓電式PICMA®執(zhí)行器是完全陶瓷絕緣的。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。沒有被證實一次失敗的1000億次循環(huán)。