帶有超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺

　　產品說明

　　快速定位

　　節(jié)省空間和重量

　　導向精度高

　　傳感器分辨率高達10 nm

　　自鎖，靜止時不發(fā)熱

　　低噪音運行

　　精密級線性定位平臺

　　PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應用。關閉時，自鎖驅動器會機械地保持平臺的位置。因此，能量消耗和熱量產生顯著減少。這些特性使電池供電或對熱敏感的低占空比應用受益。軸的位置由編碼器測量，光學參考開關可實現(xiàn)可靠的可重復運動。壓電驅動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

　　使用增量編碼器進行高精度位置測量

　　非接觸式光學編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械游隙或彈性變形對測量沒有影響。

　　PILine®超聲波壓電馬達

　　PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過耦合元件預加載在可移動的導向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產生超聲振蕩。致動器的變形導致聯(lián)接元件相對于流道的周期性對角運動。每個周期產生的進料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預緊抵在轉輪上，可在靜止和關閉時確保驅動器自鎖。

　　應用領域

　　顯微操作，自動化，生物技術，樣品處理，樣品定位，空間有限的應用，10 -6 hPa的真空應用(可選)

　　PI (Physik Instrumente) P-753.1CD LISA

　　PI (Physik Instrumente) E-625.CR

　　PI (Physik Instrumente) M-060.PD

　　PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

　　PI (Physik Instrumente) E-503.00S

　　PI (Physik Instrumente) E-625.SR

　　PI (Physik Instrumente) P-611.1S

　　PI (Physik Instrumente) E-727.3SDF

　　PI (Physik Instrumente) PD72Z2CAQ

　　PI (Physik Instrumente) P-721.12Q

　　PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

　　PI (Physik Instrumente) C-843.21

　　PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

　　PI (Physik Instrumente) M-061.PD

　　PI (Physik Instrumente) C-843.21

　　PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

　　PI (Physik Instrumente) E-709.CRG

　　德國PI系列介紹：

　　1.PI XY位移平臺

　　高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實現(xiàn)大的可靠性。通過使用高質量的納米計量傳感器，可以實現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復，無漂移的定位

　　用于小負載的2軸壓電掃描儀經常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進運動提高了光學系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機技術中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。

　　型號介紹：

　　緊湊型XY壓電位移臺

　　P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

　　P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

　　XY壓電撓性位移臺

　　P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

　　P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

　　P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

　　P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)

　　P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經濟高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動，以提高像素分辨率

　　P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

　　P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

　　P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

　　P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

　　2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀

　　PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

　　零游隙撓性導軌，導向精度高

　　撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內工作。

　　平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

　　所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫崟r地(取決于帶寬)主動補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動串擾(主動引導)。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內實現(xiàn)高跟蹤精度。

　　型號介紹：

　　P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

　　P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準

　　P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準

　　P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，多可容納3個軸

　　P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

　　用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

　　P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

　　P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

　　P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

　　緊湊型精密XYZ納米掃描儀

　　P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

　　P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

　　3.PI 線性壓電撓性位移臺

　　PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導精度與小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導體芯片生產檢查系統(tǒng)中的參考應用。

　　帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅動器和撓性導軌的線性壓電平臺可用于大1.5 mm的行程。

　　型號介紹：

　　壓電撓性線性平臺

　　P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑

　　P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺：動態(tài)穩(wěn)定

　　P-752高精度納米定位臺：高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確的引導

　　P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計量功能的高負載壓電驅動納米定位系統(tǒng)

　　P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價，緊湊的線性定位系統(tǒng)

　　P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)

　　P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

　　壓電撓性垂直平臺

　　P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

　　S-303壓電移相器：高動態(tài)，納米級精密壓電移相器

　　P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑

　　P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器

　　P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器

　　特色定制

　　PI P-725KHDS

　　P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

　　4.PI 微型六足動物

　　Q-Motion®壓電位移臺內置了小的6自由度運動設備，也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。

　　使用的運動設計取決于應用中單個軸上運動的重要性。經典的平行運動六腳架設計可實現(xiàn)佳的整體性能均勻性。當需要相對較大的線性運動時，好采用薄型設計。

　　好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驅動技術的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

　　H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度

　　H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準的理想選擇

　　H-811.S2 6軸運動六腳架：快速而緊湊的高動態(tài)應用

　　H-810 6軸微型六腳架：最小空間內的高精度

　　P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強磁場中也能進行高精度定位

　　5.PI 微型線性平臺

　　微型階段對于在可用空間有限的定位任務中至關重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機解決方案由于具有直接驅動原理，因此可實現(xiàn)緊湊的平臺。

　　型號介紹：

　　帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅動器的微型平臺

　　U-523PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺

　　Q-521 Q?Motion®微型線性平臺：具有位置控制，高分辨率和價格合理的最小線性平臺

　　PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅動器

　　U-521PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺

　　Q-545 Q?Motion®精密線性平臺：壓電馬達帶來的高力和小設計，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機，步進，直流和無刷直流電機的微型平臺

　　M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺：XY(Z)組合，具有各種驅動器和行程范圍

　　L-306緊湊型精密Z工作臺：緊湊設計，多軸組合

　　L-505緊湊型線性平臺：帶直流或步進電機

　　V-408PIMag®線性平臺：便宜，帶直線電機

　　V-508PIMag®精密線性平臺：多種選項可適應需求

　　L-402微型線性平臺：帶直流或步進電機

　　A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承：高性能，無塵室兼容，可定制

　　V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺：帶直接位置測量的音圈直接驅動

　　M-122.2DD1微翻譯平臺：具有直接位置測量功能的緊湊型線性平臺

　　M-105微翻譯平臺：精密交叉滾子導軌，PiezoMike選件，XY(Z)組合

　　MTS-65微型線性平臺：工業(yè)用途的堅固設計

　　L-406緊湊型線性平臺：對于10公斤的負載

　　6.PI 微型旋轉臺

　　帶有壓電馬達的旋轉平臺使尺寸特別緊湊。

　　顯微鏡的許多應用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉平臺還可以用于光學應用中，在這些應用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有出色的可重復性。

　　旋轉平臺可以安裝在沒有適配器的線性平臺上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

　　帶有Q-Motion和PILine®驅動器的微型旋轉臺

　　U-622PILine®旋轉平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺 ，具有薄型設計的U-651旋轉平臺，快速PILine®直接驅動和中央開口

　　U-624PILine®旋轉平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺

　　Q-632 Q?Motion®旋轉臺：緊湊型壓電電機：轉臺直徑30 mm，帶有步進，直流和無刷直流(BLDC)電機的微型旋轉臺

　　V-611PIMag®旋轉平臺：高扭矩的扁平設計，最大承重2 kg

　　RS-40緊湊型旋轉臺：精確定位

　　V-610緊湊型PIMag®旋轉臺：緊湊，適用于M-110的多軸組合

　　DT-80緊湊型旋轉臺：大光圈

　　DT-34微型旋轉臺：尺寸緊湊，帶直流或步進電機

　　PI(Physik Instrumente)位移平臺