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 　　Physik Instrumente U-651.03旋轉(zhuǎn)平臺

　　旋轉(zhuǎn)平臺具有低調(diào)和PILine®超聲波

　　壓電馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)范圍> 360°，速度540°/ s。

　　增量式直接位置測量

　　編碼器，9 µrad分辨率，D-sub連接器

PILine平臺尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機(jī)后，自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機(jī)械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點(diǎn)。軸的位置通過一個(gè)編碼器和一個(gè)光學(xué)參考開關(guān)測量，該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運(yùn)動。壓電電機(jī)驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低，可定制。

　　增量編碼器用于高精度位置測量

　　非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

　　PILine超聲波壓電電機(jī)

　　作為PILine超聲波壓電電機(jī)不可或缺的一部分，壓電陶瓷促動器上被施加預(yù)載，通過一個(gè)耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下，壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán);高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時(shí)自鎖。

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　顯微操縱, 自動化, 生物技術(shù), 樣本操縱, 樣本定位, 有限空間內(nèi)的應(yīng)用, 光學(xué)計(jì)量, 真空應(yīng)用可達(dá)10-6百帕

　　PI (Physik Instrumente) P-753.1CD LISA

　　PI (Physik Instrumente) E-625.CR

　　PI (Physik Instrumente) M-060.PD

　　PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

　　PI (Physik Instrumente) E-503.00S

　　PI (Physik Instrumente) E-625.SR

　　PI (Physik Instrumente) P-611.1S

　　PI (Physik Instrumente) E-727.3SDF

　　PI (Physik Instrumente) PD72Z2CAQ

　　PI (Physik Instrumente) P-721.12Q

　　PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

　　PI (Physik Instrumente) C-843.21

　　PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

　　PI (Physik Instrumente) M-061.PD

　　PI (Physik Instrumente) C-843.21

　　PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

　　PI (Physik Instrumente) E-709.CRG

　　德國PI系列介紹：

　　1.PI XY位移平臺

　　高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實(shí)現(xiàn)大的可靠性。通過使用高質(zhì)量的納米計(jì)量傳感器，可以實(shí)現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復(fù)，無漂移的定位

　　用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進(jìn)運(yùn)動提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。

　　型號介紹：

　　緊湊型XY壓電位移臺

　　P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

　　P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

　　XY壓電撓性位移臺

　　P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

　　P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

　　P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

　　P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)

　　P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個(gè)軸上動態(tài)移動，以提高像素分辨率

　　P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

　　P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

　　P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

　　P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

　　2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀

　　PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

　　零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

　　撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

　　平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

　　所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)地(取決于帶寬)主動補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動串?dāng)_(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

　　型號介紹：

　　P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

　　P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

　　P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

　　P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，多可容納3個(gè)軸

　　P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

　　用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

　　P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

　　P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

　　P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

　　緊湊型精密XYZ納米掃描儀

　　P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

　　P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：皮克計(jì)精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

　　3.PI 線性壓電撓性位移臺

　　PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量，微觀過程，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。

　　帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于大1.5 mm的行程。

　　型號介紹：

　　壓電撓性線性平臺

　　P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑

　　P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺：動態(tài)穩(wěn)定

　　P-752高精度納米定位臺：高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確的引導(dǎo)

　　P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計(jì)量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)

　　P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價(jià)，緊湊的線性定位系統(tǒng)

　　P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)

　　P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

　　壓電撓性垂直平臺

　　P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

　　S-303壓電移相器：高動態(tài)，納米級精密壓電移相器

　　P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑

　　P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器

　　P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器

　　特色定制

　　PI P-725KHDS

　　P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

　　4.PI 微型六足動物

　　Q-Motion®壓電位移臺內(nèi)置了小的6自由度運(yùn)動設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機(jī)六足位移臺。

　　使用的運(yùn)動設(shè)計(jì)取決于應(yīng)用中單個(gè)軸上運(yùn)動的重要性。經(jīng)典的平行運(yùn)動六腳架設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對較大的線性運(yùn)動時(shí)，好采用薄型設(shè)計(jì)。

　　好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

　　H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度

　　H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準(zhǔn)的理想選擇

　　H-811.S2 6軸運(yùn)動六腳架：快速而緊湊的高動態(tài)應(yīng)用

　　H-810 6軸微型六腳架：最小空間內(nèi)的高精度

　　P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強(qiáng)磁場中也能進(jìn)行高精度定位

　　5.PI 微型線性平臺

　　微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機(jī)解決方案由于具有直接驅(qū)動原理，因此可實(shí)現(xiàn)緊湊的平臺。

　　型號介紹：

　　帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅(qū)動器的微型平臺

　　U-523PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺

　　Q-521 Q?Motion®微型線性平臺：具有位置控制，高分辨率和價(jià)格合理的最小線性平臺

　　PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器

　　U-521PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺

　　Q-545 Q?Motion®精密線性平臺：壓電馬達(dá)帶來的高力和小設(shè)計(jì)，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機(jī)，步進(jìn)，直流和無刷直流電機(jī)的微型平臺

　　M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺：XY(Z)組合，具有各種驅(qū)動器和行程范圍

　　L-306緊湊型精密Z工作臺：緊湊設(shè)計(jì)，多軸組合

　　L-505緊湊型線性平臺：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

　　V-408PIMag®線性平臺：便宜，帶直線電機(jī)

　　V-508PIMag®精密線性平臺：多種選項(xiàng)可適應(yīng)需求

　　L-402微型線性平臺：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

　　A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承：高性能，無塵室兼容，可定制

　　V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺：帶直接位置測量的音圈直接驅(qū)動

　　M-122.2DD1微翻譯平臺：具有直接位置測量功能的緊湊型線性平臺

　　M-105微翻譯平臺：精密交叉滾子導(dǎo)軌，PiezoMike選件，XY(Z)組合

　　MTS-65微型線性平臺：工業(yè)用途的堅(jiān)固設(shè)計(jì)

　　L-406緊湊型線性平臺：對于10公斤的負(fù)載

　　6.PI 微型旋轉(zhuǎn)臺

　　帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺使尺寸特別緊湊。

　　顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺還可以用于光學(xué)應(yīng)用中，在這些應(yīng)用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有出色的可重復(fù)性。

　　旋轉(zhuǎn)平臺可以安裝在沒有適配器的線性平臺上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

　　帶有Q-Motion和PILine®驅(qū)動器的微型旋轉(zhuǎn)臺

　　U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺 ，具有薄型設(shè)計(jì)的U-651旋轉(zhuǎn)平臺，快速PILine®直接驅(qū)動和中央開口

　　U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺

　　Q-632 Q?Motion®旋轉(zhuǎn)臺：緊湊型壓電電機(jī)：轉(zhuǎn)臺直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無刷直流(BLDC)電機(jī)的微型旋轉(zhuǎn)臺

　　V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺：高扭矩的扁平設(shè)計(jì)，最大承重2 kg

　　RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：精確定位

　　V-610緊湊型PIMag®旋轉(zhuǎn)臺：緊湊，適用于M-110的多軸組合

　　DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：大光圈

　　DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機(jī)