劉亞冰
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德國Physik Instrumente（PI）線性執(zhí)行器
&&適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執(zhí)行器
適用于高循環(huán)數(shù)
適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執(zhí)行器
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購
適用于高達(dá)10-6 hPa的真空
力至125 N
26毫米（1英寸）行程范圍
步進(jìn)電機(jī)
參考級直線驅(qū)動器
結(jié)合了高精度，高作用力和高動態(tài)性。具有齒輪比的高性能，低振動的2相步進(jìn)電機(jī)即使在沒有位置控制的情況下也可以進(jìn)行精確定位。
減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用
最顯著的是，為了潤滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達(dá)到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改，該定位器的使用時間可達(dá)10 -6 hPa。
優(yōu)質(zhì)組件
滾珠絲杠，送紙順暢。非旋轉(zhuǎn)尖端可確保均勻運(yùn)動，從而防止在接觸點(diǎn)出現(xiàn)擺動，扭矩和磨損。含稅 平面和球形尖端可消除耦合力。非接觸式限位開關(guān)可保護(hù)機(jī)械性能。方向感應(yīng)參考開關(guān)支持自動化應(yīng)用。
應(yīng)用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。
&&A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺，帶空氣軸承，大孔徑
無摩擦，電動
A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺，帶空氣軸承，大孔徑
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購
直徑365毫米的運(yùn)動平臺，直徑260毫米的光圈
低調(diào)
偏心和平整度<300 nm
產(chǎn)品總覽
PIglide RLA系列的直接驅(qū)動平面旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計(jì)為具有的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計(jì)量，晶圓檢查，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。
由于無摩擦運(yùn)動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)
無刷
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運(yùn)動控制器和伺服驅(qū)動器
多軸/自定義設(shè)置
花崗巖制底板和減振系統(tǒng)
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技術(shù)：北京德諾伊流體科技有限公司
