高精度XYZ光圈掃描儀

X，Y的行程范圍為100 µm×100 µm，Z的行程范圍為10 µm

電容式傳感器的分辨率可達(dá)0.1 nm

直接驅(qū)動(dòng)的高速版本

可根據(jù)要求提供超高真空兼容和非磁性版本

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)可實(shí)現(xiàn)更高的精度和動(dòng)力學(xué)

并行計(jì)量，可主動(dòng)補(bǔ)償導(dǎo)向誤差

零間隙，高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)

透明孔徑50 mm×50 mm，用于透射光應(yīng)用

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩膜/晶圓定位

表面測(cè)量技術(shù)

納米壓印

顯微操作

Physik Instrumente納米定位壓電彎曲平臺(tái)

PI的壓電撓性位移臺(tái)將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使其特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺(tái)可用于毫秒級(jí)的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá)6個(gè)自由度的情況下可達(dá)幾百赫茲。

 

專有傳感器設(shè)計(jì)，無摩擦撓性導(dǎo)板和長(zhǎng)壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨(dú)特結(jié)合，使機(jī)械性能出色且堅(jiān)固耐用。壓電運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。

Physik Instrumente產(chǎn)品型號(hào)；

Physik Instrumente  L-505.021212F

Physik Instrumente  L-505.AP1

Physik Instrumente G-901.R3197

Physik Instrumente P-734.2CL

Physik Instrumente E-501,00  

Physik Instrumente E-503,00  

Physik Instrumente E-509,C3A,

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente L-611.90AD

Physik Instrumente P-563.3CD

Physik Instrumente E-727.3CD

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente E-727.3CDAP

Physik Instrumente C-887.522

Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:

Physik Instrumente U-780.DLS

Physik Instrumente N-565.160

Physik Instrumente N-565.260