德國(guó) Physik Instrumente壓電掃描儀系列
PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來(lái)一直是全球精密定位技術(shù)市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國(guó)際PI家族內(nèi)部的團(tuán)隊(duì)精神，其基礎(chǔ)是超越國(guó)際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長(zhǎng)的私營(yíng)公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個(gè)靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。
PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。
應(yīng)用領(lǐng)域
六腳架支持工業(yè)機(jī)器人科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機(jī)械工業(yè)
自動(dòng)化
梁線儀器
添加劑制造
主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
部分產(chǎn)品分類及介紹
納米定位壓電撓性位移臺(tái)
PI的壓電撓性位移臺(tái)將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺(tái)可用于毫秒級(jí)的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá)6的自由度下可達(dá)到幾百赫茲。
專有傳感器設(shè)計(jì)，無(wú)摩擦撓性導(dǎo)軌和長(zhǎng)壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨(dú)特結(jié)合，使機(jī)器具有出色且堅(jiān)固的機(jī)械性能。壓電運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過(guò)數(shù)字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。
1.多軸壓電撓性位移臺(tái)
PI的多軸壓電撓性位移臺(tái)可在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米級(jí)的精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準(zhǔn)，并隨測(cè)量記錄一起提供。
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對(duì)準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域：
光纖定位和對(duì)準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無(wú)需潤(rùn)滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的脫氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)
專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒(méi)有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
通過(guò)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸運(yùn)行
在并聯(lián)運(yùn)動(dòng)多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個(gè)公共平臺(tái)上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速，動(dòng)態(tài)且仍然精確的運(yùn)動(dòng)。
P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位儀
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個(gè)固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)（根據(jù)帶寬）得到主動(dòng)補(bǔ)償（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀
PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺(tái)和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動(dòng)態(tài)性。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。
平臺(tái)也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺(tái)和掃描儀也已通過(guò)測(cè)量記錄進(jìn)行了預(yù)校準(zhǔn)。
V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅(qū)動(dòng)器
用于顯微鏡物鏡的高動(dòng)態(tài)定位器
使用PIFOC對(duì)目標(biāo)進(jìn)行Z定位
在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動(dòng)物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。
PIMag®音圈電機(jī)
音圈馬達(dá)是直接驅(qū)動(dòng)器。在直接驅(qū)動(dòng)中，驅(qū)動(dòng)元件的力直接傳遞到要移動(dòng)的負(fù)載上，而無(wú)需使用機(jī)械傳??遞元件，例如聯(lián)軸器，驅(qū)動(dòng)螺桿或齒輪箱。音圈驅(qū)動(dòng)器由位于磁場(chǎng)氣隙中的永磁體和繞組體組成。當(dāng)電流流經(jīng)繞組時(shí)，它會(huì)在永磁體的磁場(chǎng)中移動(dòng)。音圈驅(qū)動(dòng)器由于其重量輕且無(wú)摩擦的驅(qū)動(dòng)原理，特別適合要求在有限行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)力和高速度的應(yīng)用。這些驅(qū)動(dòng)器還可以實(shí)現(xiàn)高掃描頻率和精確定位，因?yàn)樗鼈儾皇艽艤挠绊憽?/div>
直接位置測(cè)量
直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上以最高的精度執(zhí)行位置測(cè)量，因此非線性，機(jī)械游隙或彈性變形對(duì)位置測(cè)量沒(méi)有影響。
集成重力補(bǔ)償
該產(chǎn)品配備了磁力稱重補(bǔ)償。即使沒(méi)有通電，也可以保持垂直于運(yùn)動(dòng)軸的最大1 kg負(fù)載的位置。重力補(bǔ)償可由用戶調(diào)整。
交叉滾子導(dǎo)軌
對(duì)于交叉的滾柱導(dǎo)軌，滾珠導(dǎo)軌中滾珠的點(diǎn)接觸被硬化滾柱的線接觸所代替。因此，它們更堅(jiān)固，需要的預(yù)緊力更小，從而減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了順暢的運(yùn)行。交叉滾子導(dǎo)向裝置還具有較高的導(dǎo)向精度和承載能力。力引導(dǎo)的滾動(dòng)體保持架可防止保持架蠕變。
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微鏡：多光子熒光顯微鏡，深層組織檢查，數(shù)字玻片掃描顯微鏡。生物技術(shù)：采用Solexa-Illumina方法進(jìn)行基因組測(cè)序，免疫分析熒光。
醫(yī)療設(shè)備：掃描激光眼科，自動(dòng)細(xì)胞計(jì)數(shù)器/流式細(xì)胞儀。生物醫(yī)學(xué)研究：光學(xué)和磁性鑷子。激光材料加工：激光微加工，激光燒蝕。半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體/晶圓檢查。
PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)400 µm
高動(dòng)態(tài)壓電驅(qū)動(dòng)器，可實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微鏡檢查
共聚焦顯微鏡
3D成像
篩選
自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)
表面分析
晶圓檢查
多光子顯微鏡
直接位置測(cè)量帶來(lái)最高的精度
直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量運(yùn)動(dòng)，而不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟娜魏斡绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的可重復(fù)性，出色的穩(wěn)定性以及快速響應(yīng)的剛性控制。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
豐富的軟件可快速啟動(dòng)生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)
得益于對(duì)MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見(jiàn)操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個(gè)環(huán)境中快速有效地實(shí)現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)的時(shí)間。
ND72Z2LAQ PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)2000 µm
納米分辨率和快速步進(jìn)和穩(wěn)定
應(yīng)用領(lǐng)域
雙光子顯微鏡
共聚焦顯微鏡
3D成像
激光技術(shù)
干涉儀
生物技術(shù)
顯微操作
自動(dòng)對(duì)焦，適合長(zhǎng)途旅行
使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測(cè)量
非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性，機(jī)械間隙或彈性變形對(duì)測(cè)量沒(méi)有影響。
PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度和高進(jìn)給力
多個(gè)壓電執(zhí)行器在PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器中執(zhí)行行走運(yùn)動(dòng)，從而導(dǎo)致跑步者向前進(jìn)給。致動(dòng)器的控制允許最小的步進(jìn)和正向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，其分辨率遠(yuǎn)低于1納米。
豐富的軟件可快速啟動(dòng)生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)
得益于對(duì)MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見(jiàn)操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個(gè)環(huán)境中快速有效地實(shí)現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)的時(shí)間。
德國(guó) Physik Instrumente U-523PILine®線性平臺(tái)
品牌簡(jiǎn)介
在過(guò)去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動(dòng)機(jī)始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來(lái)一直是全球精密定位技術(shù)市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國(guó)際PI家族內(nèi)部的團(tuán)隊(duì)精神，其基礎(chǔ)是超越國(guó)際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長(zhǎng)的私營(yíng)公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個(gè)靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。
PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。
應(yīng)用領(lǐng)域
六腳架支持工業(yè)機(jī)器人科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機(jī)械工業(yè)
自動(dòng)化
梁線儀器
添加劑制造
主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
線性平臺(tái)
PI提供了廣泛的電動(dòng)線性平臺(tái)產(chǎn)品組合。種類繁多的應(yīng)用還意味著線性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級(jí)從納米到微米：PI使驅(qū)動(dòng)器，導(dǎo)向器或傳感器技術(shù)適應(yīng)應(yīng)用條件。
有許多不同型號(hào)的真空版本。多軸組合可借助轉(zhuǎn)接器支架實(shí)現(xiàn)，或者通過(guò)匹配的Z平臺(tái)和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)更加緊湊。
運(yùn)動(dòng)控制器可作為臺(tái)式設(shè)備，機(jī)架版本或緊湊型OEM設(shè)備使用。所有這些因素的共同因素是通過(guò)通用命令集（GCS）進(jìn)行命令，該命令簡(jiǎn)化了控制和編程，并且與驅(qū)動(dòng)器類型無(wú)關(guān)。
可提供具有ACS運(yùn)動(dòng)控制器的多軸工業(yè)應(yīng)用中的多軸系統(tǒng)。這樣可確保通過(guò)Fieldbus接口輕松集成，以實(shí)現(xiàn)精密和以運(yùn)動(dòng)為中心的工業(yè)應(yīng)用。
1.U-523PILine®線性平臺(tái)
帶有超聲波壓電馬達(dá)的緊湊型線性平臺(tái)
精密級(jí)線性定位平臺(tái)
PILine®位移臺(tái)特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時(shí)，自鎖驅(qū)動(dòng)器會(huì)以機(jī)械方式穩(wěn)定工作臺(tái)的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測(cè)量，光學(xué)參考開(kāi)關(guān)可實(shí)現(xiàn)可靠的可重復(fù)運(yùn)動(dòng)。壓電驅(qū)動(dòng)原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。
使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測(cè)量
非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性，機(jī)械間隙或彈性變形對(duì)測(cè)量沒(méi)有影響。
PILine®超聲波壓電馬達(dá)
PILine®超聲波壓電電機(jī)的組成部分是壓電致動(dòng)器，該壓電致動(dòng)器通過(guò)一個(gè)耦合元件預(yù)加載在可移動(dòng)的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵(lì)而產(chǎn)生超聲振蕩。致動(dòng)器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對(duì)于轉(zhuǎn)輪周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng)。每個(gè)周期產(chǎn)生的進(jìn)料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可確保驅(qū)動(dòng)器在靜止和關(guān)閉時(shí)自動(dòng)鎖定。
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操作，自動(dòng)化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應(yīng)用，10 -6 hPa的真空應(yīng)用（可選）。
2.精度最高的N-565線性平臺(tái)
具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器
NEXACT®參考級(jí)線性平臺(tái)
帶有NEXACT®PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的線性平臺(tái)可在長(zhǎng)行程范圍內(nèi)在納米范圍內(nèi)進(jìn)行高精度定位。它們配備有直接測(cè)量的線性編碼器和交叉滾子軸承，可實(shí)現(xiàn)最高的精度。
使用PIOne線性編碼器進(jìn)行直接位置測(cè)量
PI開(kāi)發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器，并通過(guò)對(duì)測(cè)量值進(jìn)行相應(yīng)的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號(hào)周期短和信號(hào)質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1％。PIOne編碼器在評(píng)估參考信號(hào)時(shí)支持方向感測(cè)。
PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率和低磨損
PiezoWalk®技術(shù)結(jié)合了壓電執(zhí)行器和壓電馬達(dá)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器不僅提供亞納米級(jí)分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無(wú)限的行駛范圍。
德國(guó) Physik Instrumente壓電掃描儀系列
客服熱線：
