D-015 • D-050 • D-100 電容式傳感器

亞納米級(jí)分辨率位置傳感器

·         適用于具有最高精度要求的應(yīng)用

·         測(cè)量范圍達(dá) 1000 μm

·         分辨率高達(dá) 0.01 nm

·         線性誤差高達(dá) 0.01 %，采用數(shù)字控制器

·         E-509.CxA 控制電子元件，兼容 E-500 壓電控制器系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

高精度定位。

分辨率

電容式傳感器可在較短的距離內(nèi)實(shí)現(xiàn)皮度計(jì)的分辨率。理論測(cè)量分辨率是無限的。在實(shí)踐中，散射輻射、幾何效應(yīng)和測(cè)量電子噪聲會(huì)影響可實(shí)現(xiàn)的精度。與E-509配合使用。C1A電子元件，D-100.00傳感器的有效噪聲因數(shù)（100μm）為0.02 nm/ÖHz。例如，對(duì)應(yīng)于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子元件的跳線可調(diào)帶寬高達(dá)3 kHz。

除了此處列出的標(biāo)準(zhǔn)傳感器外，PI還提供定制版本，例如測(cè)量，幾何形狀，材料，電子等。

D-510 PISeca 電容式傳感器

具有出色位置分辨率的單電極傳感器

周莉 QQ：2668476640   手機(jī)：13390167995 電話：010-64714988-226 傳真：010-64714988-668 郵件：tk3@handelsen.cn

·         非接觸式距離測(cè)量

·         絕對(duì)位置感應(yīng)

·         振動(dòng)測(cè)量

·         亞納米級(jí)分辨率

·         靈活的測(cè)量范圍

·         易于集成

電容式位置傳感器實(shí)現(xiàn)最高的精度和使用壽命

結(jié)合用于信號(hào)處理的電子設(shè)備，對(duì)于準(zhǔn)靜態(tài)應(yīng)用，可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨率。對(duì)于高動(dòng)態(tài)應(yīng)用，帶寬可以增加到10 kHz，其中仍然可以達(dá)到1 nm范圍內(nèi)的分辨率。線性誤差小于0.1%。

定制版本/雙電極傳感器

除了此處列出的標(biāo)準(zhǔn)傳感器外，PI還提供一系列特定于應(yīng)用的定制版本，例如，測(cè)量范圍，幾何形狀或材料都適合客戶要求。還提供定制的電子產(chǎn)品。

D-100 系列中的雙電極傳感器可滿足對(duì)線性度和分辨率的最高要求。

易于操作和集成

所有 PISeca 傳感器頭都配有 LEMO 連接器，便于安裝和更換。均勻的軸厚度確保了兼容性和靈活性。用于連接評(píng)估電子設(shè)備的電纜有多種型號(hào)，因此必須單獨(dú)訂購(gòu)。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)和研究。半導(dǎo)體制造和檢驗(yàn)。納米計(jì)量學(xué)。主動(dòng)減振器。精密加工。