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| 品牌mlase | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2023-02-27 16:20 |
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德國(guó)MLase準(zhǔn)分子激光器MLI-500，ArF、KrF
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常用型號(hào)：
MLI-200
MLI-500
MLI-1000
參數(shù)介紹：
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參數(shù) |
ArF |
ArF |
ArF |
KrF |
KrF |
KrF |
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波長(zhǎng)（納米） |
193 |
193 |
193 |
248 |
248 |
248 |
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脈沖重復(fù)頻率（赫茲） |
200 |
500 |
1000 |
200 |
500 |
1000 |
|
穩(wěn)定的脈沖能量 （mJ） |
6 |
6 |
6 |
10 |
10 |
10 |
|
穩(wěn)定平均功率 （W） |
1,2 |
3,0 |
6,0 |
2,0 |
5,0 |
10 |
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脈沖穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差%） |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
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光束寬度（FWHM，VxHmm） |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
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光束發(fā)散（FWHM，VxHmm） |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
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脈沖長(zhǎng)度 |
5-10 |
5-10 |
5-10 |
5-15 |
5-15 |
5-15 |
德國(guó)MLase準(zhǔn)分子激光器MLI-500，ArF、KrF
工作日
9:00-18:00
